Ders AdıKodu Yerel KrediAKTS Ders (saat/hafta)Uygulama (saat/hafta)Laboratuar (saat/hafta)
Yarı iletken ElektroniğiEHM480035300
ÖnkoşullarYok
YarıyılNot set
Dersin Diliİngilizce, Türkçe
Dersin SeviyesiLisans
Dersin TürüSeçmeli @ Elektronik & Haberleşme Mühendisliği Lisans Programı
Seçmeli @ Bilgisayar Mühendisliği Lisans Programı
Seçmeli @ Biyomedikal Mühendisliği Lisans Programı
Seçmeli @ Elektrik Mühendisliği Lisans Programı
Seçmeli @ Fizik Lisans Programı
Ders KategorisiUzmanlık/Alan Dersleri
Dersin Veriliş ŞekliYüz yüze
Dersi Sunan Akademik BirimElektronik & Haberleşme Mühendisliği Bölümü
Dersin Koordinatörü
Dersi Veren(ler)Nihan Kahraman
Asistan(lar)ıHatice Vildan Düdükçü, Özden Niyaz
Dersin AmacıYarıiletken devre elemanlarının üretim teknolojisinin öğretilmesi
Dersin İçeriğiTümdevre teknolojisine giriş, Si ve GaAs kristallerinin kristal yapıları, faz diyagramları, kristallerin arındırılması, tümdevre üretim süreçlerinin temel adımları, oksitleme, litografi, difüzyon, iyon ekme, epitaksi, CVD ve PVD tekniği ile katman oluşturma, aşındırma süreçleri, kontak ve metalizasyon, CMOS proses entegrasyonu
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar
  • Silicon processing for the VLSI era: Vol.1:Process Technology, Stanley Wolf, Richard Tauber, Lattice Press, 1987.
Opsiyonel Program BileşenleriYok

Ders Öğrenim Çıktıları

  1. Öğrencilerin mikro ve nano sistem teknolojileri ile ilgili gelişmiş bilgiye sahip olmalarını sağlamak
  2. Öğrencilerin micro/nano fabrikasyon konusunda bilgi sahibi olmalarını sağlamak
  3. Öğrenciler mikro ve nano teknolojilerindeki bilgilerini uygulamaya koyabilecek ve karşılaştığı problemleri çözebilme yeteneği kazanacaklardır.
  4. Öğrenciler yarıiletken devre elemanlarının üretimindeki ana basamakları öğreneceklerdir.
  5. Öğrenciler CMOS ve bipolar proses entegrasyonunu öğreneceklerdir.

Haftalık Konular ve İlgili Ön Hazırlık Çalışmaları

HaftaKonularÖn Hazırlık
1Tümdevre teknololojisine genel bir bakışDers Kitabı
2Si ve GaAs kristallerinin kristal yapıları ve temel özellikleriDers Kitabı
3Faz diyagramlarıDers Kitabı
4Kristallerin üretilmesi ve arındırılmasıDers Kitabı
5Tümdevre üretim sürecinin temel adımlarıDers Kitabı
6OksitlemeDers Kitabı
7LitografiDers Kitabı
8Ara Sınav 1
9İyon ekme Ders Kitabı
10EpitaksiDers Kitabı
11CVD yöntemiyle tabaka oluşturmaDers Kitabı
12PVD yöntemiyle tabaka oluşturmaDers Kitabı
13Aşındırma süreçleriDers Kitabı
14Kontak ve metalizasyonDers Kitabı
15Final

Değerlendirme Sistemi

EtkinliklerSayıKatkı Payı
Devam/Katılım
Laboratuar
Uygulama
Arazi Çalışması
Derse Özgü Staj
Küçük Sınavlar/Stüdyo Kritiği
Ödev
Sunum/Jüri
Projeler
Seminer/Workshop
Ara Sınavlar160
Final140
Dönem İçi Çalışmaların Başarı Notuna Katkısı
Final Sınavının Başarı Notuna Katkısı
TOPLAM100

AKTS İşyükü Tablosu

EtkinliklerSayıSüresi (Saat)Toplam İşyükü
Ders Saati133
Laboratuar
Uygulama
Arazi Çalışması
Sınıf Dışı Ders Çalışması134
Derse Özgü Staj
Ödev
Küçük Sınavlar/Stüdyo Kritiği
Projeler
Sunum / Seminer215
Ara Sınavlar (Sınav Süresi + Sınav Hazırlık Süresi)115
Final (Sınav Süresi + Sınav Hazırlık Süresi)115
Toplam İşyükü :
Toplam İşyükü / 30(s) :
AKTS Kredisi :
Diğer NotlarDrs İngilizce de açılabilir.